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Precision motion control · Components and solutions

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流量传感器

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GF3000 XGZPGF3000 系列根据热力学原理测量流道中的气体流量,能够高精度测量空气、氧气、氮气等非腐蚀性气体。内含 MEMS 热式传感器芯片和高性能 CMOS 微处理器,结合独有的标定校准方案,能够输出实时准确的流量信号。In production
GF4000 XGZPGF4000 系列根据热力学原理测量流道中的气体流量,能够高精度测量空气、氧气、氮气等非腐蚀性气体。内含 MEMS 热式传感器芯片和高性能 CMOS 微处理器,结合独有的标定校准方案,能够输出实时准确的流量信号。In production
GF5000 XGZPGF5000 系列根据热力学原理测量流道中的气体流量,能够高精度测量空气、氧气、氮气等非腐蚀性气体。内含 MEMS 热式传感器芯片和高性能 CMOS 微处理器,结合独有的标定校准方案,能够输出实时准确的流量信号。In production